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半導(dǎo)體行業(yè)
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晶圓加熱盤,晶圓加熱裝置在半導(dǎo)體制程過程中非常重要,特別是在一些關(guān)鍵工藝中,如晶圓退火、鍵合、勻膠、刻蝕、氣相沉積等,它可以提供穩(wěn)定的溫場(chǎng)環(huán)境及精密的盤面均勻溫度,確保晶圓在各種溫區(qū)中的加熱要求,從而實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件的制造和研發(fā)。
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